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自动宏微观检测设备

发布时间:2022-09-19 来源:知常光电 浏览次数:593次

自动宏微观检测设备
型号 AMMI-2000
晶圆尺寸 200mm/300mm
晶圆类型 Semi Standards MEMS、Glass、Thin、Warped、Taiko、Frame
检测方式 2D测量
检测模式 明/暗场、偏光、微分干涉
分辨率 6μm - 0.5μm
产率 100WPH@300mm, 6μm
镜头 1X, 2X, 5X, 10X, 20X, 50X
检测类型 划伤、外来物污染、RDL缺陷等
通讯 SEMI standard, SECS/GEM
自动化 EFEM ( 2 loadPort & Robot)
Baidu
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