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全自动表面缺陷检测设备

全自动表面缺陷检测设备(AOSI-3000S),包含全自动上下料模块和检测模块,主要用于光学元件,包括镜片的外观质量的全自动检测与分拣,包括划痕、 麻点、印记、清洗残留、镀膜缺陷等。相比人工目检,具有高灵敏度、高重复性等特点。

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半自动表面缺陷检测设备

半自动表面缺陷检测设备,主要用于光学镜片的外观质量检测,包括划痕、麻点、 印记、清洗残留、镀膜缺陷等。与人工目检相比,本设备具备高灵敏度、高重复性等特点。

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多模态表面缺陷检测仪

多模态表面缺陷检测仪(MMDI-2000 ),结合全口径缺陷快速识别与子孔径高峰灵敏度、高分辨率显微成像的检测方式,对表面缺陷尺度、位置、形态进行统计分析,并可结合使用光热弱吸收、显微成像等不同模态检测用户关注的缺陷区域,获取关注区域的缺陷信息。也可以利用微分干涉相衬显微成像技术,实现凸起和凹坑的区分。

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亚表面缺陷检测仪

亚表面缺陷检测仪(SSDI—2000 ),集成包括光学显微成像、激光共聚焦成像在内的多种检测模式,用于光学元件表面、亚表面缺陷的检测与分析,可在深度方向对样品进行分层检测。

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三维缺陷检测仪

三维缺陷检测仪(LS3D-2000 ),适用于大口径光学材料的三维缺陷检测和分析,本系统是一款快速、简便、高灵敏度的检测仪器。

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光热扫描显微镜

二维光热扫描显微镜(PTM-2000 ),适用于各类固体表面及亚表面吸收缺陷的检测和分析,特别是各类光学薄膜、光学元器件表面及亚表面吸收缺陷的检测和分析。本系统是一款非接触式、高分辨率、全自动化检测仪器,可以根据用户需求进行紫外、可见或者近红外波段的精密检 测和分析。三维光热扫描显微镜(PTM3D-2000 ),适用于各类光学元器件及材料体内吸收缺陷的三维检测和分析。本系统是 —款非接触式、高分辨率、全自动化检测仪器。

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激光共聚焦显微镜

激光共聚焦显微镜(LCM-2000),主要用材料表面、 亚表面缺陷检测,形貌分析等。

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